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MKS據收集與分析:MKS數據收集和分析能力,包括軟件企業范圍內的反饋和前饋過程自動控制和監測,收益管理軟件,以及硬件和軟件的集成傳感器,數據采集和數據分析,包括多元分析。我們的的子公司Umetrics,是實驗設計的軟件更容易龐大和復雜的數據集的分析和多變量分析中的佼佼者。
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MKS溶解氣體:溶解氣體被處理,清洗及消毒的各種半導體,生物制藥,制造業應用的一種清潔,安全,有效的解決方案。
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MKS流量測量,控制和驗證:MKS系列的流量交付產品,包括質量流量控制器(MFC),在原位質量流量驗證,流動比率控制器,準確和可重復的氣體流量劃分成精確流在這個過程中多點。
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MKS紅外/ NDIR分析儀:FTIR(傅立葉變換紅外)和NDIR(非色散紅外)實時時間和在線氣體分析儀器從MKS儀器能夠ppb到ppm靈敏度的多氣種,包括NF 3,NH 3,H 2,NO 2和N O和高達30%的水的氣體。
MKS閥門:是一個領先的高可靠性,高精度不銹鋼真空隔離閥和壓力控制閥。MKS系列包括波紋管真空隔離閥,球閥,手動,氣動和電氣動閥,在加熱或不加熱的角度和內嵌配置,安全切斷閥和軟啟動閥。我們的壓力控制閥生產線包括擺,蝴蝶,葉片和提升油門閥集成控制子系統。
其他產品:
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氣體及蒸氣
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加熱器、
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檢漏
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臭氧產品
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等離子體源
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壓力/真空控制
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壓力/真空測量
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殘余氣體分析/質譜法
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RF和DC電源
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衛浴配件,過濾器外殼,加熱器
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陷阱和污水管理
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真空元件
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真空室
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真空壓力表
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