NEOVAC SA-H是用高真空蒸餾裝置將以高度精致的Alkve-di-ph信息發布yl-cthcl為主要成分的合成潤滑油精餾的油回轉式真空泵油 
因具有礦物油得不到的優越的耐活性氣體、耐熱性、耐氧化性，所特別適用于半導體制造裝置等的活性氣的排氣系統。 

*因蒸氣壓低，可以得到泵的界限到達壓力。 
*具有礦物油得不到的優越的耐熱性、耐氧化性。而從可以長期的使用。 
*因對活性氣體不易反應，所以渣物的產生很少，可以長期的使用。 

適用電子產業、原子力產業等。 
同時供應SO-M.SA-M