吸附平臺技術參數：Vacuum Table Technical Data 單位：mm 平臺規格 平臺厚度 面板孔徑 面板孔距 吸氣面積 工作溫度 平臺材質 1300*2741 42.5 1.5 20 1240*2540 <50℃ 合金鋁 表面硬度 平整度 平行度 面板厚度 底板厚度 吸氣口徑 接口方式 HV500-600 <0.35 <0.50 2.0 2.0 4*6-50 法蘭 吸附平臺撓度值測試：Vacuum Table Deflection test 平臺長度 測試點 支點 加力度 撓度 2741 平臺中心點 1370 300N 0.1